Lugar de origen:
China.
Nombre de la marca:
KACISE
Certificación:
CE
Número de modelo:
Se trata de un documento de identificación de la empresa.
Sensor de gas infrarrojo KGD - MQ - 536
Introducción del producto
El sensor de gases infrarrojos KGD-MQ-536 se basa en la tecnología de infrarrojos no dispersivos (NDIR).y CO2 generado en aplicaciones de semiconductoresEs compatible con dimensiones preestablecidas comunes, bridas y protocolos de comunicación dentro del equipo. Puede usarse para la detección de puntos finales en procesos de deposición y limpieza de semiconductores,así como la detección de terminales para la limpieza de la cámara, lo que ayuda a reducir el tiempo de limpieza, reducir los costos y aumentar la producción.
Características del producto
Parámetros técnicos
Parámetro | Detalles |
Principio de detección | El NDIR |
Gases detectados | WF6, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Rango de medición | 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr) |
Repetibilidad | ± 0,5% |
Linealidad | ± 1% F.S. |
Límites de detección | 1 ppm |
Envíe su consulta directamente a nosotros