Lugar de origen:
China.
Nombre de la marca:
KACISE
Certificación:
CE
Número de modelo:
KGD-MQ-537
| Atributo | Valor |
|---|---|
| Principio de Detección | NDIR |
| Gases Detectados | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Rango de Medición | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
| Repetibilidad | ±0.5% |
| Linealidad | ±1%F.S. |
| Límite de Detección | 1ppm |
El Sensor de Gas Infrarrojo KGD - MQ - 537 se basa en la tecnología Infrarroja No Dispersiva (NDIR). Puede medir con precisión gases como SiF4, CF4, SF6, NF3 y CO2 generados en aplicaciones de semiconductores. Es compatible con dimensiones preestablecidas comunes, bridas y protocolos de comunicación dentro del equipo. Se puede utilizar para la detección de punto final en los procesos de deposición y limpieza de semiconductores, así como para la detección terminal para la limpieza de cámaras, lo que ayuda a reducir el tiempo de limpieza, reducir los costos y aumentar la producción.
| Parámetro | Detalles |
|---|---|
| Principio de Detección | NDIR |
| Gases Detectados | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Rango de Medición | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
| Repetibilidad | ±0.5% |
| Linealidad | ±1%F.S. |
| Límite de Detección | 1ppm |
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