Lugar de origen:
China.
Nombre de la marca:
KACISE
Certificación:
CE
Número de modelo:
KGD-MQ-537
El sensor de gas infrarrojo KGD-MQ-537 utiliza tecnología infrarroja no dispersiva (NDIR) para medir con precisión gases como SiF4, CF4, SF6, NF3 y CO2 en aplicaciones de semiconductores. Diseñado con compatibilidad para dimensiones de equipos, bridas y protocolos de comunicación comunes, este sensor es ideal para la detección de puntos finales en procesos de deposición y limpieza de semiconductores, así como para la detección de terminales para la limpieza de cámaras, lo que ayuda a reducir el tiempo de limpieza, recortar costos y aumentar la producción.
| Parámetro | Detalles |
|---|---|
| Principio de detección | NDIR |
| Gases detectados | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Rango de medición | 1-264 ppm (0-200 mTorr) |
| Repetibilidad | ±0,5% |
| Linealidad | ±1% FS |
| Límite de detección | 1 ppm |
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